光(guang)(guang)刻機(ji)制冷機(ji)組(zu)的種(zhong)類(lei)有很多(duo)，各(ge)有各(ge)的特點，用(yong)戶(hu)需(xu)要(yao)根據使用(yong)需(xu)求選擇適(shi)合的光(guang)(guang)刻機(ji)制冷機(ji)組(zu)。那么到底(di)有哪些光(guang)(guang)刻機(ji)制冷機(ji)組(zu)呢？

　　1、根(gen)據(ju)機(ji)(ji)型構(gou)造光刻機(ji)(ji)制冷(leng)機(ji)(ji)組根(gen)據(ju)冷(leng)卻方式(shi)(shi)的差異，也被分成了風冷(leng)式(shi)(shi)和水冷(leng)式(shi)(shi)。

　　2、冷卻介質有鹽水，乙(yi)二醇等等,也(ye)可以根(gen)據(ju)冷卻介質的(de)不同進行分類。

　　3、光刻機制冷機組的壓縮機為(wei)活塞式、離(li)心式,、渦旋式(shi)、螺桿式(shi)，我們也可(ke)以根(gen)據光刻機制冷(leng)機組壓縮(suo)機對(dui)其(qi)進(jin)行(xing)分(fen)類(lei)。此外，光刻機制冷(leng)機組的(de)蒸發器(qi)也有很(hen)多類(lei)型，也可(ke)以根(gen)據蒸發器(qi)類(lei)型差異對(dui)其(qi)進(jin)行(xing)劃分(fen)。根(gen)據出水溫(wen)度又或是制冷(leng)原理的(de)不同(tong)，又被(bei)分(fen)成(cheng)了吸收(shou)式(shi)和(he)壓縮(suo)式(shi)。

　　4、在更換的時(shi)候(hou)，需要(yao)先(xian)取(qu)下(xia)連(lian)接(jie)壓(ya)縮機排氣管(guan)和(he)吸氣管(guan)的連(lian)接(jie)管(guan)道，由于連(lian)接(jie)冷凝器和(he)管(guan)道距(ju)離較近(jin)，不容易從(cong)管(guan)口中取(qu)出(chu)，因此應(ying)先(xian)取(qu)下(xia)連(lian)接(jie)壓(ya)縮機排氣管(guan)和(he)吸氣管(guan)的管(guan)道。

　　5、安(an)裝四(si)通閥閥體的時候，可以使用(yong)焊槍加熱(re)連接(jie)四(si)通間根部3根管(guan)(guan)道的(de)管(guan)(guan)口(kou)，使(shi)表(biao)面(mian)(mian)剩(sheng)余焊料充(chong)分(fen)熔化、流動(dong)直至(zhi)掉下，使(shi)管(guan)(guan)口(kou)表(biao)面(mian)(mian)光滑(hua)，這樣能順利插入至(zhi)四(si)通(tong)閥管(guan)(guan)口(kou)。因(yin)焊接(jie)時難點在于根部的(de)3個管道(dao)，可將(jiang)連接壓縮機排(pai)氣管的管道(dao)扳(ban)到一邊，待焊接3個(ge)管口(kou)后(hou)再焊接連接壓縮機排氣管的管口(kou)。

　　6、由于四(si)通間(jian)中(zhong)間(jian)管(guan)道(dao)難焊(han)接(jie)(jie)(jie)，應首先(xian)焊(han)接(jie)(jie)(jie)中(zhong)間(jian)管(guan)道(dao)，再焊(han)接(jie)(jie)(jie)兩側管(guan)道(dao)，接(jie)(jie)(jie)著焊(han)接(jie)(jie)(jie)連接(jie)(jie)(jie)壓縮機(ji)排氣管(guan)的(de)管(guan)道(dao)，安裝和(he)焊(han)接(jie)(jie)(jie)接(jie)(jie)(jie)連壓縮機(ji)排氣管(guan)管(guan)口之后，四(si)個接(jie)(jie)(jie)口焊(han)接(jie)(jie)(jie)完(wan)成啦(la)

7、安裝完(wan)光刻(ke)機制冷機組的(de)四通(tong)閥之后，需要(yao)注意制冷系統的(de)撿漏工(gong)作(zuo)，撿漏結束再投入使用(yong)。