光刻機(ji)用低溫(wen)冷(leng)水機(ji)組多(duo)運用于各(ge)個行(xing)業(ye)之中，很多(duo)行(xing)業(ye)都需要購買(mai)光刻機(ji)來進行(xing)作業(ye)，這也涉及到(dao)光刻機(ji)用低溫(wen)冷(leng)水機(ji)組的日常維護(hu)。

　　1、光刻(ke)機用低溫冷水機組(zu)組(zu)冷卻系統的(de)基本部件(jian)有：冷凝器、受液器、干燥(zao)過(guo)濾(lv)器、蒸發(fa)器、熱膨脹閥(fa)等(deng)(deng)等(deng)(deng)。

　　2、光刻機(ji)(ji)用低溫(wen)冷(leng)(leng)水機(ji)(ji)組(zu)組(zu)是(shi)將常溫(wen)的(de)水通(tong)過冷(leng)(leng)水機(ji)(ji)的(de)壓縮機(ji)(ji)制(zhi)冷(leng)(leng)到溫(wen)度以(yi)強(qiang)化(hua)冷(leng)(leng)卻模具或機(ji)(ji)器(qi)，作為單機(ji)(ji)使用，散熱裝置為內(nei)置之風扇(shan)，主要有(you)三個相互聯系(xi)(xi)(xi)的(de)系(xi)(xi)(xi)統(tong)：制(zhi)冷(leng)(leng)劑循(xun)環系(xi)(xi)(xi)統(tong)、水循(xun)環系(xi)(xi)(xi)統(tong)、電器(qi)自(zi)控系(xi)(xi)(xi)統(tong)。

　　3、光刻(ke)機用低溫(wen)冷水機組蒸(zheng)(zheng)發器中(zhong)的液態制(zhi)冷劑吸收水中(zhong)的熱量(liang)并開(kai)始蒸(zheng)(zheng)發，終制(zhi)冷劑與水之間形成溫(wen)度差，液態制(zhi)冷劑亦(yi)蒸(zheng)(zheng)發變(bian)為氣(qi)態，后被壓(ya)縮(suo)機吸入(ru)并壓(ya)縮(suo)（壓(ya)力和(he)溫(wen)度增加）,氣態(tai)制(zhi)冷(leng)劑通(tong)過冷(leng)凝器釋(shi)放熱量，凝結成液體。通(tong)過膨脹閥（或毛細管(guan)）節流(liu)后變成低溫低壓制(zhi)冷(leng)劑進入蒸發(fa)器，完成制(zhi)冷(leng)劑循環過程。

　　4、定(ding)期清(qing)洗(xi)冷(leng)凝器、蒸發器，使整機保(bao)持(chi)良好運轉；保(bao)持(chi)光刻(ke)機用低溫冷(leng)水機組冷(leng)卻(que)塔清(qing)潔干凈，定(ding)期清(qing)洗(xi)，冷(leng)卻(que)塔內不得有雜物及其它障礙物，以免造成傷害。

　　5、光刻機用低溫冷水(shui)機組的冷凍水(shui)泵不可在水(shui)箱內無水(shui)運轉；操(cao)作開關請盡理避(bi)免連續切(qie)換。

6、水溫(wen)達(da)到設(she)定(ding)溫(wen)度時，壓縮機會(hui)自動停止運行，此屬正常現象；溫(wen)度開(kai)關應(ying)避免(mian)設(she)定(ding)在5℃以(yi)下(xia)，防(fang)止蒸(zheng)發(fa)器(qi)結(jie)冰。